固體質(zhì)量流量的計(jì)量
1904年,美國(guó)Bousser制作出早的固體質(zhì)量流量的計(jì)量,該裝置的原理以動(dòng)量為主。1929年,下落固體顆粒的質(zhì)量流量計(jì)研制出來,并成為理論與實(shí)踐相互結(jié)合的初級(jí)產(chǎn)品。1957年,通過動(dòng)量原理進(jìn)行固體顆粒測(cè)量的方法被提出來。1963年,日本三協(xié)電業(yè)公司借助于垂直力進(jìn)行固體的流量裝置的檢測(cè),并在1968年將該裝置改進(jìn)為應(yīng)用水平分力來檢測(cè),進(jìn)而發(fā)展成為沖量式流量計(jì)。目前,國(guó)內(nèi)外出現(xiàn)了不少測(cè)量固體質(zhì)量流量的沖量式流量計(jì),這些產(chǎn)品的原理近乎一致,比如國(guó)產(chǎn)的LFD系列等。
氣體質(zhì)量流量計(jì)
1911年,美國(guó)學(xué)者提出了采用熱絲法來對(duì)氣體質(zhì)量進(jìn)行測(cè)量的流量計(jì)。1914年,L.V.King通過電阻變化來替換氣體冷卻率,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了測(cè)量。如今,不少熱流式質(zhì)量流量計(jì)就應(yīng)用到該種方法。1964年,美國(guó)Dijeck借助于馬格努斯效應(yīng),從而完成了差壓質(zhì)量流量計(jì)的研制,并進(jìn)行了氣體質(zhì)量流量的測(cè)量。目前,在氣體質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用上,熱流式相對(duì)多,比如國(guó)產(chǎn)86—系列,美國(guó)58—系列等。
液體質(zhì)量流量計(jì)
在質(zhì)量流量計(jì)中,測(cè)量液體的裝置種類相對(duì)多。無論是動(dòng)量式質(zhì)量流量計(jì),還是差壓質(zhì)量流量計(jì)和熱流式質(zhì)量流量計(jì),都能夠?qū)σ后w進(jìn)行測(cè)量。1962年,雙渦輪式液體、氣體質(zhì)量流量計(jì)出現(xiàn)。1973年,美國(guó)研制出了能夠?qū)Ψ蔷€性渦輪質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行校正液體測(cè)量裝置。目前,美國(guó)Rosemount公司在70年代制造出的科里奧利質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用相對(duì)較多。在此基礎(chǔ)上,各國(guó)也生產(chǎn)出了類似于科里奧利流量計(jì)的產(chǎn)品。